洁净室气态污染物AMC检测机构

  在半导体相关检验测试的项目中，洁净室污染AMC系统可为企业杜绝多种环境污染的可能性。英格尔检测团队了解到，其中酰胺与有机胺物质对于洁净室等环境存在巨大危害，可能对蚀刻及光刻工艺产生关键影响。英格尔检测Vocus CI-TOF设备可检测出复杂的碱分子与痕量酸能力，已成为各企业重要的AMC洁净室污染物检测机构。

  酸类物质，尤其是无机酸，对晶圆良率的负面影响是半导体从业者的痛点之一。酸会腐蚀晶圆表面的金属线或表面，形成颗粒物沉积到晶圆表面，损坏光刻掩模，以及弱化HEPA滤膜性能。HEPA滤膜材料劣化会导致过滤系统效率降低，也有一定几率会产生含硼化合物和其他影响到半导体工艺和晶圆良率的污染物。

  氨气一直是在AMC的监管清单之中。氨气、有机胺和酰胺等含氮分子在AMC中是相对特殊的存在。这些碱类分子会在空气通过简单的，也是最常见的酸碱成核机理，产生盐类为主的颗粒物，会有很大可能沉降到晶圆表面或者洁净室内各种外表面。更有必要注意一下的是，氨气对铜等金属表面具有很强的吸附性，对金属参与的制程和仪器内外表面都会产生维持的时间较长的污染。

  该AMC种类主要有塑化剂、有机磷酸盐、抗氧化剂、硅氧烷和其他VOCs。MC物种的可凝结特性意味着在酸碱成核反应之后，MC会凝结到细小颗粒物外表面，促进其生长，也就相应的增加了沉降几率和对晶圆表面的危害程度。同时MC也会以分子态或者单分子层凝结到晶圆或者设备部件表面。

  英格尔检测通过严谨科学的实验结果了解到，碱类物质极容易在前开式晶圆传送盒（FOUP）上残留。FOUP一旦被碱类物质污染，需要复杂的清洁技术与较长的清洗时间。英格尔检测可提供全面的AMC洁净室污染物控制服务，在关键的酸碱结合生成颗粒物过程中，英格尔将全程观测碱类物质与酸类物质的活动过程，确定保证产品良品率。

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