【48812】AMC洁净室检测测验技能体系

  跟着半导体、芯片、晶圆等科学技能产品微量尺度的不断打破，洁净室环境面对更加大的检测。英格尔检测具有完善牢靠的AMC在线监测体系，可为半导体制作业供给准确无误的洁净室测验数据。英格尔还可帮企业在面对ppt超低浓度气态化学污染物难题时，供给专业的技能上的支撑及一站式洁净室AMC测验服务。

  气态化学污染物，是指空气中以气体或蒸气方式存在的分子级污染物，在微电子洁净室环境中，因而气态化学污染物也称为气态分子污染物。面对日益精进的制程工艺，AMC监测技能也在一直在晋级，英格尔检测推出的新新一代AMC在线监测体系，结合FFU，将晶圆盒内部和洁净室内部实时监控，ppt级极高灵敏度和浓度报警机制，能及时反馈给厂务端，然后操控好污染物开释，确保良品率。

  英格尔检测了解到依据洁净室的特性，在世界半导体设备及资料协会SEMIF21-1102和国家GB/T25915.8-2021的规范中将洁净室中的空气污染物有具体要求：

  AMC分子污染物的尺度比粒子要小5000倍及以上，AMC在半导体制作栅底氧化、薄膜堆积、多晶硅和硅化物构成、触摸成型、光刻等多个要害工艺上对晶片外表、设备外表发生腐蚀，还会发生非操控性硼化物或磷化物掺杂、晶圆外表或光学镜面发生阴霾、微粒产尘等损害，然后大大影响了产品的质量。

  针对半导体制作部件或许面对的各种污染问题，英格尔洁净室AMC测验中心将以极高灵敏度的AMC实时监控才能为公司能够供给服务。英格尔检测为帮企业防止在工艺过程中或许遭到的污染，深耕AMC在线监测体系多年继续晋级晶圆盒内部、光刻机内部等一体化清洁设备，为进步合格率下降产品污染为方针。回来搜狐，检查更加多