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本报讯(记者刘蒙丹通讯员何晓进王定)国内首个国际最高等级“ISO 1级”超净环境集成系统,近日在南京经济技术开发区内的南京天加空调设备有限公司落成,这个干净得近乎一粒灰尘也没有的厂房,将用来生产超大规模集成电路和高世代平板显示等高端产品。
超净环境又称洁净室、无尘室,是指无论室外空气条件如何变化,仍能使室内空气中微尘粒子、有害化学气体、细菌等污染物排除,且室内温度、湿度、洁净度等特性控制在特定范围内。而“ISO 1级”则是该标准的国际最高标准,该规定要求,每立方米内的微尘颗粒小于10颗。
“浮游在空气中的微尘颗粒就像太平洋中的鱼。‘ISO 1级’的洁净度,就如同在太平洋那么大的空间里,所有‘鱼’全都被过滤掉了。”洁净室首席技术官吴小泉打比方说,因为实现难度非常大,截至目前,国内除了天加公司,还无另外的企业做到。在国外,也只有美国的一家科技公司拥有一间。
去年年底,天加超净环境集成系统通过专家组评定,来自中国科学院、中国工程院等近30名专家一致评定该系统为国内首创,并达到国际领先水平。专家组主任委员王尧表示,超净环境核心区洁净度达到国际标准最高级别,填补了国家相关领域的技术空白。
由于要进行专业消毒,记者没能进入洁净室现场体验。不过,技术人员把记者带进了控制室,透过玻璃,记者清楚地看到了整个厂房的内部。该洁净厂房170平方米,外观和一般的实验室差不多。“根据实时监测的数据,目前厂房内的空气中一粒微尘也没有,可以说纤尘不染。”吴小泉现场介绍说,厂房内的空气,首先要通过厂房地面上布满的细小“孔洞”进行循环过滤,然后还要经过加热、冷淋等16个步骤处理,才能最终达到洁净标准。
据了解,打造这样的一间厂房,天加公司投入了1000多万元,成本比现在常用的“ISO 3”、“ISO 2”级厂房都要高出好几倍。
“之所以花大本钱打造这样的厂房,主要是想服务于相关高端产品的生产。”天加公司企业品牌部负责人刘东明说,根据半导体产业的摩尔定律,硅晶圆片尺寸、平板显示器的尺寸都在逐步扩大,精密性、稳定性要求也慢慢变得高;一般来说,厂房越洁净,产出的电子科技类产品能达到的精密度也就越高。因没有“ISO 1”级的洁净厂房,以前,我国超净环境的核心部件均由国外设计和制造,严重制约了超大规模集成电路、高世代平板显示等产业的发展。有了这个厂房,生产电子核心部件的这项瓶颈被打破了。