国家标准《电子工厂洁净厂房规划标准

解决方案 2024-03-09

国家标准《电子工厂洁净厂房规划标准》国家标准《电子工厂洁净厂房规划标准》中强制性条文GB50472-2008陈霖新中国电子工程规划院2009年07月.1、电子工厂洁净厂房特色2、章节内容简介3、强制性条文等介绍4、结语.1、电子工厂洁净厂房特色电子科技类产品出产开展迅猛IC特征尺度0.05μm,12〞～16〞，64GTFT第六代产品对化学污染物的严厉要求大面积、大体量、组合式、多层洁净厂房出资大、能量消耗大.1、电子工厂洁净厂房特色集成电路对化学污染物的操控目标.电子工厂洁净厂房的特色：微粒操控非常严厉、要求操控0.02μm乃至更小粒径ISO1级或更严厉。...

《电子工厂洁净厂房规划标准》中强制性条文GB50472-2008陈霖新中国电子工程规划院2009年07月.1、电子工厂洁净厂房特色2、章节内容简介3、强制性条文等介绍4、结语.1、电子工厂洁净厂房特色电子科技类产品出产开展迅猛IC特征尺度0.05μm,12〞～16〞，64GTFT第六代产品对化学污染物的严厉要求大面积、大体量、组合式、多层洁净厂房出资大、能量消耗大.1、电子工厂洁净厂房特色集成电路对化学污染物的操控目标.电子工厂洁净厂房的特色：微粒操控非常严厉、要求操控0.02μm乃至更小粒径ISO1级或更严厉。高纯物质，包含高纯水、高纯气体高纯化学品的供给、运送。对微振操控非常严厉、需拟定切实可行的规则对防静电、电磁兼容等大体量、多层单向流洁净室，二层/三层安置数万m2。1、电子工厂洁净厂房特色.1、电子工厂洁净厂房特色表1国内外一些微电子洁净厂房的高度和洁净出产区面积项目方位情况

（㎜）洁净出产区面积（㎡）修建高度芯片厂1大陆出产运转200（8）870020.0芯片厂2台湾出产运转300/200（12/8）1400026.8芯片厂3台湾出产运转300（12）900029.4芯片厂4台湾出产运转300（12）900026.8芯片厂5韩国出产运转200（8）1000031.0芯片厂6韩国出产运转200（8）1000031.0芯片厂7韩国出产运转200（8）1000037.0芯片厂8韩国出产运转200（8）1000037.0芯片厂9爱尔兰出产运转200（8）889225.4芯片厂10美国出产运转200（8）1581022.00芯片厂11美国出产运转200（8）1581022.00芯片厂12美国出产运转300（12）1385717.00芯片厂13爱尔兰出产运转300（12）1218317.00芯片厂14磁力出产运转300（12）874020.40芯片厂15台湾出产运转200（8）790050.30芯片厂16法国出产运转200（8）650021.00芯片厂17新加坡出产运转200（8）800025.00.1、电子工厂洁净厂房特色表1国内外一些微电子洁净厂房的高度和洁净出产区面积项目方位情况标准（㎜）洁净出产区面积（㎡）修建高度芯片厂18上海出产运转300（12）1200029.00芯片厂19上海出产运转300（12）940030.00芯片厂20成都出产运转200（8）7408.821芯片厂21上海出产运转200（8）1032128.55芯片厂22姑苏出产运转200（8）1200024.4芯片厂23重庆制作中200（8）150028芯片厂24浙江出产运转150（6）516019TFT-LCD/1北京出产运转5代，1100×.00TFT-LCD/2上海出产运转5代，1100×130022000＋1400020.30TFT-LCD/3昆山试出产5代，1100×1300～300026.50TFT-LCD/4深圳正在制作5代，1100×1300～3300026.50TFT-LCD/5台湾出产运转6代，1500×1800～36000～27TFT-LCD/6上海正筹建6代，1500×1800～34000～27TFT-LCD/7北京正筹建6代，1500×1800～36000～27TFT-LCD/8日本出产运转8代，2160×2460～9000030.00.1、电子工厂洁净厂房特色表22几类电子科技类产品所需气体品种.1、电子工厂洁净厂房特色表25集成电路芯片（64M）出产的悉数进程部分化学品的质量开展要求微粒（PC/CC）化学品种类0.1μm0.2μm金属离子H3PO4HClH2SO4H2O2NH4OH

数据的磁盘储存间五颜六色荧光粉厂的生粉制作间荫罩厂（制版）的曝光间、显影间、涂胶间磁带装置工段集成电路工厂的氧化、分散间、光刻间、离子注入间、封装间丁电真空显现器材工厂的装置车间、涂屏车间、荫罩加工车间、屏锥加工车间②半导体器材、集成电路工厂的拉单晶间、蒸腾、溅射间、芯片贴片间液晶显现器材工厂的溅射间、彩膜查验间光纤预制棒工厂的MCVD、OVD堆积间，火抛光、芯棒烧缩及拉伸间、光纤拉丝区五颜六色荧光粉厂的兰粉、绿粉、红粉制作间戊半导体器材、集成电路工厂的切片间、磨片间、抛光间光纤、光缆工厂的光纤挑选、查验区，光缆出产线洁净室（区）应定时进行功用测验。以认证洁净室（区）一直契合本标准的要求。D.2.2空气洁净度等级、静压差、风速或风量的认证测验的最长时刻距离应契合表D.2.2-1和D.2.2-2的规则。表D.2.2-2静压差和风速或风量认证的测验要求表D.2.2-1空气洁净度等级认证的测验要求注：1若洁净室（区）运转中已对粒子浓度、风速、静压差进行接连监测，且其测验值均契合本标准要求时，认证的测验时刻距离可延长。详细距离时刻，可与认证单位恰谈。2空气洁净度等级认证，可在静态或动态检测，恰谈确认。3风量测定，应选用风速计在风口或风管测定。3、强制性条文等介绍空气洁净度等级最长时刻距离（月）测验办法1~56见D.3.56~912见D.3.5测验项目最长时刻距离（月）测验办法风速或风量12见D.3.1静压差12见D.3.2.D.2.3电子工业洁净室（区）的认证测验，除空气洁净度等级、静压差、风速或风量测验外，还应根据本身的需求进行表D.2.3规则的恰谈挑选测验项目。表D.2.3洁净室（区）恰谈挑选的测验项目3、强制性条文等介绍测验项目空气洁净度等级主张最长的时刻距离（月）测验办法已装置过滤器走漏气流流型目测温度相对湿度照度噪声自净时刻密闭性一切洁净度等级2424121224

24见D.3.3见D.3.5见D.3.6见D.3.6见D.3.8见D.3.7见D.3.10见D.3.11.1、GB50472是根据电子工厂洁净厂房特色，参照国际标准，通过国内调研后拟定。2、强制性标准中的“强条”有必要严厉遵守。许多引荐性条文也是卓有成效的要求、规则，对电子工业洁净厂房的规划、制作、运转具有指导性。3、标准履行中，不可避免有各式各样问题，欢迎提出主张，加强沟通交流。4、结语.谢谢咱们！.

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