洁净厂房设计规范（GB 50073-2013）Code for design of clean room

  的通知》(建标函〔2003〕102号)的要求，由中国电子工程设计院会同相关的单位共同对《洁净厂房设计规范》GB 50073-2001修订而成。

  本规范在修订过程中，修订组结合我国洁净厂房设计建造和运行的真实的情况，进行了广泛的调查研究和测试，认真总结了《洁净厂房设计规范》GB 50073-2001多年来实施的经验，广泛征求了全国相关的单位的意见，最后经审查定稿。

  本规范共9章和3个附录，主要内容有：总则、术语、空气洁净度等级、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、工业管道、电气等。

  本规范主要的修订技术内容是：修改了第2章术语;对第3章空气洁净度等级的相关联的内容作了修改和补充;修改了第8章，更名为“工业管道”;修改了部分“强制性条文”为“非强制性条文”。

  本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由工业与信息化部负责日常管理，由中国电子工程设计院负责具体技术内容的解释。在本规范执行过程中如有意见或建议，请寄送中国电子工程设计院(地址：北京市海淀区万寿路27号，邮政编码：100840，传真)，以便今后修订时参考。

  参编单位：信息产业部第十一设计研究院科技工程股份有限公司 中国石油化工集团上海医药工业设计院 中国建筑科学研究院

  主要起草人：陈霖新 张利群 王唯国 缪德骅 晁阳赵海俞渭雄 周春海 秦学礼 谭易和 贺继行 肖红梅 樊勖昌 张彦国 黄德明 牛光宏 冷捷敏 冯佩明

  主要审查人：涂光备 薛长立 王宗存 张洪雁 施红平 李兆坚 叶鸣 孙志华 万桐良

  1.0.1 为了使洁净厂房设计符合节约能源、劳动卫生和环境保护的要求，做到技术先进、经济适用、安全可靠，确保洁净厂房设计质量，制定本规范。

  1.0.3 洁净厂房设计应是施工安装、维护管理、检修测试和安全运作的基础。

  1.0.4 洁净厂房设计除应符合本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定。

  空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求做控制。

  空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求做控制。洁净区可以是开放式或封闭式。

  用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1μm～5μm的固体和液体粒子，但不适用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性。

  在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的窗口。两侧装有不能同时开启的窗扇。

  设施已经建成，其服务动力公用设施区接通并运行，但无生产设备、材料及人员的状态。

  设施已经建成，生产设备已经安装好，并按供需双方商定的状态运行，但无生产人员的状态。

  为确认过滤器安装良好、没有向洁净室(区)的旁路渗漏，过滤器及其框架均无缺陷和渗漏所做的检测。

  在额定风量下，对粒径大于或等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上的空气过滤器。

  在额定风量下，对粒径0.1μm～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上的空气过滤器。

  能防止静电危害的特定环境，在这一环境中不易产生静电，静电产生后易于消散或消除，静电噪声难以传播。

  在材料的相对两表面上放置的两电极间所加直流电压与流过两电极间的稳态电流之商。该电流不包括沿材料表面的电流。

  在材料表面层的直流电场强度与稳态电流线 体积电阻率 volume resistivity

  消防人员为灭火而进入建筑物的专用入口，平时封闭，使用时由消防人员从室外打开。

  洁净室被污染后，净化空调系统开始运行至恢复到稳定的规定室内洁净度等级所需的时间。

  每立方米空气中包括超微粒子的实测或规定浓度。U描述符不能规定悬浮粒子洁净度等级，但它可与悬浮粒子洁净度等级同时引述，也可以单独引述。

  每立方米空气中实测的或规定的微粒子。M描述符不能规定悬浮粒子洁净度等级，但它可与悬浮粒子洁净度等级同时引述，也可以单独引述。

  洁净厂房内，除给水排水管道和净化空调、采暖通风管道外的气体、液体管道，统称为工业管道。

  式中：Cn——大于或等于要求粒径的最大浓度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位数;N——空气洁净度等级，数字不超过9，洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量;

  0.1——常数，其量纲为μm。3 当工艺要求粒径不止一个时，相邻两粒径中的大者与小者之比不小于1.5倍。

  4 空气洁净度等级的粒径范围应为0.1μm～0.5μm，超出粒径范围时可采用U描述符或M描述符补充说明。3.0.2 空气洁净度等级所处状态包括空态、静态、动态，空气洁净度等级所处状态应与业主协商确定。

  3.0.4 当洁净室(区)内的产品生产的基本工艺要求控制微生物、化学污染物时，应根据工艺特点对各空气洁净度等级规定相应的微生物、化学污染物浓度限值。

  2 应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害化学气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。当不能远离严重空气污染源时，应位于最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧。

  3 应布置在厂区内环境清洁，人流、物流不穿越或少穿越的地段。4.1.2 对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表容许振动值分析比较后确定。

  4.1.4 洁净厂房周围宜设置环形消防车道，也可沿厂房的两个长边设置消防车道。

  4.1.6 洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪，不应种植对生产有害的植物，并不得妨碍消防作业。

  5.1.2 洁净厂房围护结构的材料选型应符合保温、隔热、防火、防潮、少产尘等要求。

  5.1.3 洁净厂房整体的结构的耐久性应与室内装备和装修水平相协调，并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能。厂房变形缝不宜穿越洁净区。

  5.1.4 送、回风管和其他管线暗敷时，应设置技术夹层、技术夹道或地沟等。穿越楼层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井，其形式、尺寸和构造应符合风道、管线的安装、检修和防火要求。

  5.1.5 对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房的平面布局和构造处理，应避免人流、物流运输及防火方面对洁净生产带来不利的影响。

  4 净化空调系统与一般空调系统。6.1.4 洁净室的温、湿度范围应符合表6.1.4的规定。

  6.1.5 洁净室内的新鲜空气量应取下列两项中的最大值：1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和。

  3。6.1.6 洁净区的清扫宜采用移动式高效真空吸尘器，但空气洁净度等级为1级～5级的单向流洁净室宜设置集中式真空吸尘系统。洁净室内的吸尘系统管道应暗敷，吸尘口应加盖封堵。

  7.1.2 管道外表面可能结露时，应采取保护措施。防结露层外表面应光滑，易于清洗，并不得对洁净室造成污染。

  7.1.3 管道穿过洁净室墙壁、楼板和顶棚时应设套管，管道和套管之间应采取可靠的密封措施。无法设置套管的部位也应采取比较有效的密封措施。

  7.2.2 水质要求比较高的纯水供水管道应采用循环供水方式，并应符合下列规定：

  5 管道系统各组成部分应密封，不得有渗气现象。7.2.3 管材选择应符合下列规定：

  1 纯水管道的管材应符合生产的基本工艺对水质的要求，可选择不锈钢管或工程塑料管。

  2 工艺设备用循环冷却给水和回水管可采用热镀锌钢管、不锈钢管或工程塑料管等。

  3 管道配件应采用与管道相应的材料。7.2.4 循环冷却水管道应预留清洗口。

  7.3.2 洁净室内的排水设备和与重力回水管道相连接的设备，必须在其排出口以下部位设水封装置，排水系统应设有完善的透气装置。7.3.3 洁净室内地漏等排水设施的设置应符合下列规定：

  4 空气洁净度等级等于或严于7级的洁净室内不应穿过排水立管，其他洁净室内穿过排水立管时不应设检查口。7.3.4 洁净厂房内应采用不易积存污物、易于清洗的卫生设备、管道、管架及其附件。

  7.4.1 洁净厂房必须设置消防给水设施，消防给水设施设置设计应根据相关生产的火灾危险性、建筑物耐火等级以及建筑物的体积等因素确定。7.4.2 洁净厂房的消防给水和固定灭火设备的设置应符合现行国家标准《建筑规划设计防火规范》GB 50016的有关规定。

  7.4.3 洁净室的生产层及可通行的上、下技术夹层应设置室内消火栓。消火栓的用水量不应小于10L/s，同时使用水枪数不应少于2只，水枪充实水柱长度不应小于10m，每只水枪的出水量应按不小于5L/s计算。7.4.4 洁净厂房内各场所必须配置灭火器，配置灭火器设计应符合现行国家标准《建筑灭火器配置设计规范》GB 50140的有关规定。

  7.4.5 洁净厂房内设有贵重设备、仪器的房间设置固定灭火设施时，除应符合现行国家标准《建筑规划设计防火规范》GB 50016的有关法律法规外，还应符合下列规定：

  2 当设置气体灭火系统时，不应采用卤代烷1211以及能导致人员窒息和对保护对象产生二次损害的灭火剂。

  4 当易燃、易爆、有毒物质管道敷设在技术夹层或技术夹道内时，一定要采取可靠的浓度检测报警、通风措施。8.1.2 洁净室(区)工业管道的设计应符合现行国家标准《工业金属管道设计规范》GB 50316的有关规定。

  4 管道系统应设必需的吹除口、放净口和取样口。8.1.4 工业管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施。

  8.1.5 可燃气体管道、氧气管道的末端或最高点均应设置放散管。放散管引至室外应高出屋脊1m，并应有防雨、防杂物侵入的措施。8.1.6 气体净化装置的选择和配置应符合气源和生产的基本工艺对气体纯度的要求。气体终端净化装置宜设在邻近用气点处。

  8.1.7 气体过滤器的选择和配置应符合生产的基本工艺对气体洁净度的要求。高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处。

  8.1.8 洁净厂房内、生产类别为现行国家标准《建筑规划设计防火规范》GB 50016规定的甲、乙类气体、液体入口室或分配室的设置应符合以下规定：1 当毗连布置时，应设在单层厂房靠外墙或多层厂房的最上一层靠外墙处，并应与相邻房间采用能抗住火焰的极限大于3.0h的隔墙分隔。

  3 泄压设施和电气防爆应按现行国家标准《建筑规划设计防火规范》GB 50016、《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关法律法规执行。

  8.2.2 高纯气体管道和阀门的选用应符合生产的基本工艺的要求，并应符合下列规定：

  1 当气体纯度大于或等于99.999%，露点低于-76℃时，应采用内壁电抛光的低碳不锈钢管或内壁光亮抛光的不锈钢管。阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀。

  2 当气体纯度大于或等于99.99%，露点低于-60℃时，应采用内壁光亮抛光的不锈钢管。除可燃气体管道宜采用波纹管阀外，其他气体管道宜采用球阀。8.2.3 当干燥压缩空气露点低于-70℃时，应采用内壁光亮抛光的不锈钢管;当露点低于-40℃时，宜采用不锈钢管或热镀锌无缝钢管。阀门宜采用波纹管阀或球阀。

  2 不锈钢管应采用氩弧焊，以对接焊或承接焊连接;高纯气体管道宜采用内壁无斑痕的对接焊。8.3.2 管道与设备的连接应符合设备的连接要求。当采用软管连接时宜采用金属软管。

  1 螺纹或法兰连接处的密封材料应根据输送物料性质、设计工况选择，宜采用聚四氟乙烯等。

  2 高纯气体管道与阀门连接的密封材料应按生产的基本工艺和气体特性的要求确定，宜采用金属垫或双卡套。8.3.4 洁净室(区)内的工业管道应根据管子表面温度和环境和温度、湿度确定保温形式和构造。冷管道保温后的外表面温度不应低于环境的露点温度。保温层外表面应采用不产生尘粒、微生物的材料，并应平整、光洁，宜采用金属外壳保护。

  8.4.1 下列部位应设可燃气体报警装置和事故排风装置，报警装置应与相应的事故排风机连锁：1 生产类别为甲类的气体、液体入口室或分配室。

  2 引至室外的放散管应设置阻火器，并应设置防雷保护设施。3 应设导除静电的接地设施。

  8.4.5 各种气瓶库应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过1瓶时，气瓶可设置在洁净室内，应采取不积尘和易于清洁的措施。

  9.1.2 洁净厂房的用电负荷等级和供电要求应按现行国家标准《供配电系统模块设计规范》GB 50052的有关法律法规和生产的基本工艺要求确定。主要生产工艺设备应由专用变压器或专用低压馈电线路供电，有特别的条件的工作电源宜设置不间断电源(UPS)。净化空调系统用电负荷、照明负荷应由变电所专线 洁净厂房消防用电设备的供配电设计应按现行国家标准《建筑防火设计规范》GB 50016有关法律法规执行。

  9.1.5 洁净室内的配电设备应选择不易积尘、便于擦拭的小型暗装设备，不宜设置大型落地安装的配电设备。

  9.1.6 洁净室内的电气管线宜暗敷，穿线导管应采用不燃材料。洁净区的电气管线管口及安装于墙上的各种电器设备与墙体接缝处应有可靠的密封措施。

  9.2.1 洁净室内照明光源宜采用高效荧光灯。若工艺有特别的条件或照度值达不到设计的基本要求时，可采用别的形式光源。

  9.2.2 洁净室内一般照明灯具应为吸顶明装。当灯具嵌入顶棚暗装时，安装缝隙应有可靠的密封措施。洁净室应采用洁净室专用灯具。

  9.2.3 无采光窗的洁净室(区)的生产用房间一般照明的照度标准值宜为200lx～500lx，辅助用房、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等宜为150lx～300lx。9.2.4 洁净室内一般照明的照度均匀度不应小于0.7。

  3 备用照明应满足所需场所或部位做必要活动和操作的最低照度。9.2.6 洁净厂房内应设置供人员疏散用的应急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道转角处应按现行国家标准《建筑规划设计防火规范》GB 50016的有关法律法规设置疏散标志。在专用消防口处应设置疏散标志。

  9.2.7 洁净厂房中有爆炸危险的房间的灯具和电气线路的设计，应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定。

  9.3.1 洁净厂房内应设置与厂房内、外联系的通信装置。洁净厂房内生产区与其他工段的联系宜设生产对讲电线 洁净厂房根据生产管理和生产的基本工艺特殊需要，宜设置闭路电视监视系统。

  9.3.3 洁净厂房的生产层、技术夹层、机房、站房等均应设置火灾报警探测器。洁净厂房生产区及走廊应设置手动火灾报警按钮。

  9.3.4 洁净厂房应设置消防值班室或控制室，并不应设在洁净区内。消防值班室应设置消防专用电线 洁净厂房的消防控制设备及线路连接应可靠。控制设备的控制及显示功能应符合现行国家标准《火灾自动报警系统模块设计规范》GB 50116的有关法律法规。洁净区内火灾报警应进行核实，并应进行下列消防联动控制：

  1 应启动室内消防专用水泵，接收其反馈信号。除自动控制外，还应在消防控制室设置手动直接控制装置。2 应关闭有关部位的电动防火阀，停止相应的空调循环风机、排风机及新风机，并应接收其反馈信号。

  9.3.6 洁净厂房中易燃、易爆气体、液体的贮存和使用场所及入口室或分配室应设可燃气体探测器。有毒气体、液体的贮存和使用场所应设气体检测器。报警信号应联动启动或手动启动相应的事故排风机，并应将报警信号送至消防控制室。

  9.5 静电防护及接地9.5.1 洁净厂房应根据工艺生产规格要求采取静电防护措施。

  Ω/□或体积电阻率为1.0×104Ω·cm～1.0×1011Ω·cm。3 地面应设有导电泄放措施和接地构造，其对地泄放电阻值应为1.0×105Ω～1.0×109

  Ω。9.5.3 洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施。9.5.4 洁净室内可能会产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施，其中有爆炸和火灾危险场所的设备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定。

  9.5.5 防静电接地系统应分别按不一样的要求设置接地连接端子。在一个房间内应设置等电位的接地网格或闭合的接地铜排环。

  9.5.6 洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则，其中直流接地系统不能与交流接地系统混接。直流工作接地的接地干线应单独绝缘敷设，并应使用绝缘屏蔽电缆。

  9.5.7 接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1Ω：选择分散接地方式时，各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体，两者应保持20m以上的间距。洁净厂房的防雷接地系统模块设计应符合现行国家标准《建筑物防雷设计规范》GB 50057的有关法律法规。