净化洁净厂房设计规范 GB 50073—2001

  本规范由中华人民共和国信息产业部负责管理，中国电子工程设计院负责具体解释工作，建设部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。

  本规范是根据建设部、计委计综合[1992]490号和[1992]建标字第10号文的要求，由我部负责主编。具体由中国电子工程设计院会同相关的单位共同对《洁净厂房设计规范》GBJ 73-84修订而成。在修订过程中，修订组结合我国洁净厂房设计建造和运行的真实的情况，进行了广泛的调查研究和必要的测试工作，认真总结了《洁净厂房设计规范》GBJ 73-84执行10多年来的经验，等效采用****ISO14644-1《洁净室及相关受控环境，第一部分-空气洁净度等级》的洁净度等级。广泛征求了全国相关的单位的意见，*后由我部会同有关部门审查定稿。

  本规范共9章和4个附录。其主要内容有:总则、术语、空气洁净度等级、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、气体管道、电气等。

  本规范在执行过程中，希望各行业、各单位结合工程实践，认真总结经验，如发现需要修改和补充之处，请将意见和有关联的资料寄交北京市海淀区万寿路27号中国电子工程设计院《洁净厂房设计规范》管理组( 邮编:100840 传真 E-mail:

  参编单位:信息产业部第十一设计研究院中国石油化工集团上海医药工业设计院中国建筑科学研究院

  主要起草人:刘存宏 陈霖新 张利群 王唯国 缪德骅 郝锡泽 赵海 俞渭雄 周春海 晁阳 贺继行 陆原 肖红梅 樊勖昌 谭易和 黄德明 郭兴周 冷捷敏 冯佩明

  1.0.1 洁净厂房设计必须做到技术先进、经济适用、安全可靠、确保质量，并应符合节约能源、劳动卫生和环境保护的要求。

  1.0.3 洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、检修测试和安全运行创造必要的条件。1.0.4 洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的有关强制性国家标准、规范的规定。

  空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求做控制。

  空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求做控制。洁净区可以是开放式或封闭式。

  由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体直径。对离散粒子计数、光散射仪器采用当量光学直径。

  用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1～5μm的固体和液体粒子。

  在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的开口。两侧装有不能同时开启的窗扇。

  设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员。

  在额定风量下，对粒径不小于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa以下的空气过滤器。

  在额定风量下，对粒径0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及气流阻力在280Pa以下的空气过滤器。

  对电解质杂质含量(常以电阻率表征)和非电解质杂质(如微粒、有机物、细菌和溶解气体等)含量均有要求的水。

  能防止静电危害的特定环境，在这一环境中不易产生静电，静电产生后易于消散或消除，静电噪声难以传播。

  在材料的相对两表面上放置的两电极间所加直流电压与流过两电极间的稳态电流之商。该电流不包括沿材料表面的电流。

  消防人员为灭火而进入建筑物的专用入口，平时封闭，使用时由消防人员从室外打开。

  洁净室被污染后，净化空调系统开始运行至恢复到稳定的规定室内洁净度等级的时间。

  3.0.1 洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子洁净度等级应按表3.0.1确定。

  3.0.2 空气洁净度等级所处状态(空态、静态、动态)应与业主协商确定。

  4.1.1 洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定:

  1 应在大气含尘和有害化学气体浓度较低、自然环境较好的区域。2 应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害化学气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。如不能远离严重空气污染源时，则应位于*大频率风向上风侧，或全年*小频率风向下风侧。3 应布置在厂区内环境清洁、人流、物流不穿越或少穿越的地段。

  4.1.2 对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表容许振动值分析比较后确定。

  4.1.4 洁净厂房周围宜设置环形消防车道(可利用交通道路)，如有困难，可沿厂房的两个长边设置消防车道。4.1.5 洁净厂房周围的道路面层，应选用整体性能好、发尘少的材料。

  4.1.6 洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪，不应种植对生产有害的植物，并不得妨碍消防作业。

  1 工艺平面布置应合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备，以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。2 在满足生产的基本工艺和噪声要求的前提下，空气洁净度等级高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置。3 洁净室内要求空气洁净度等级高的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。4 应考虑大型设施安装和维修的运输路线，并预留设施安装口和检修口。5 不同空气洁净度等级房间之间联系频繁时，宜设有防止污染的措施，如缓冲间、气闸室、传递窗等。6 应设置单独的物料入口，物料传递路线应*短，物料进入洁净区之前一定要进行清洁处理。

  4.2.2 洁净厂房的平面和空间设计，应满足生产的基本工艺和空气洁净度等级要求。洁净区、人员净化、物料净化和其它辅助用房应分区布置。同时应考虑生产操作、工艺设施安装和维修、管线布置、气流流型以及净化空调系统各种技术设施的综合协调。

  1 按生产的火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，或有防火分隔要求者。2 生产联系少，并经常不同时使用的两个生产区段之间。

  4.2.4 在满足生产的基本工艺和空气洁净度等级要求的条件下，洁净厂房内各种固定技术设施(如送风口、照明器、回风口、各种管线等)的布置，应第一先考虑净化空调系统的要求。

  4.3.1 洁净厂房内应设置人员净化、物料净化用室和设施，并应根据自身的需求设置生活用室和其它用室。

  1 人员净化用室，应包括雨具存放、换鞋、管理、存外衣、更洁净工作服等房间。2 厕所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室和空气吹淋室、气闸室、工作服洗涤间和干燥间等其它用室，可根据自身的需求设置。

  1 人员净化用室的入口处，应设净鞋措施。2 存外衣和更洁净工作服应分别设置。3 外衣存衣柜应按设计人数每人设一柜，洁净工作服宜集中挂入带有空气吹淋的洁净柜内。4 盥洗室应设洗手和烘干设施。5 空气吹淋室应设在洁净区人员入口处，并应与洁净工作服更衣室相邻。单人空气吹淋室按*大班人数每30人设一台。洁净区工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。

  1 人流路线 人员净化用室和生活用室的布置，宜按图4.3.4的人员净化程序进行布置。

  2 无送、回风口的支风管为4～6m/s。3 有送、回风口的支风管为2～5m/s。

  2 洁净室与周围辅助性站房内有强烈振动的设备及其连接管道，应采取主动隔振措施。3 应确定洁净厂房内外各类振源对洁净厂房精密设备、精密仪器仪表位置处的综合振动影响，以决定是不是采取被动隔振措施。

  1 周围振源对其综合影响的振动数据。2 设备、仪器仪表的型号、规格及轮廓尺寸图。3 设备、仪器仪表的质量、质心位置及质量惯性矩。4 设备、仪器仪表的底座外轮廓图、附属装置、管道位置及坑、沟、孔洞尺寸、地脚螺栓及预埋件位置等。5 设备、仪器仪表的调平要求。6 设备、仪器仪表的容许振动值。7 所选用或设计的隔振器或隔振装置的技术参数、外观尺寸及安装条件。

  2 设备、仪器仪表运行时，由于质量及质心位置的变化引起隔振台座倾斜的校正措施。3 隔振系统各向阻尼比不应小于0.15。4 隔振措施不应影响洁净室内的气流流型。