合洁科技电子净化工程:电子洁净车间装修设计的重要性
常见问题解答 2023-12-11
生产设备的平面布局也是电子洁净厂房设计的重要内容。电子洁净厂房无尘车间形式一般有隧道式(或称港湾式)、开放式、岛形布置等。据调查表明,集成电路芯片制造用洁净室一般都会采用隧道式和开放式,其中隧道式洁净室大多数都用在5英寸、6英寸芯片制造厂,生产设备横跨洁净生产区和设备维护区,洁净生产区对洁净度要求严格,而设备维护区的空气洁净度等级相对较低。
目前8英寸、12英寸芯片制造工厂普遍采用“开放式洁净室加微环境”的方式,将芯片制作的完整过程对空气洁净度要求十分严格的硅片工艺流程(1-4 级)布置在微环境装置内,而开放式洁净室的洁净度等级只需 5-6 级,这种洁净室形式既可实现设备布置的灵活性,又能减少建设投资、降低能耗和运行费用。
工作人员是洁净室内尘埃微粒的大多数来自。在工艺设计中,一方面应该尽可能选择自动化程度较高的生产及运输设备以便减少洁净室内的人员数量,另一方面,也应该根据洁净室内不同的洁净区域,合理地设计工作人员的行走路线和原材料、成品的运输路线以尽可能地减少交叉污染。
另外,由于电子科技类产品更新换代快在电子工厂的实际生产中在线维修及调试、边生产边增添设备的情况很多,因此在进行工艺布局时应根据详细情况,考虑这一些因素,留出相应的运作空间
因篇幅问题,仅供参考,希望对您起到一定的帮助,具体详细方案可访问我们合洁科技电子净化工程的网站进一步了解,我们会为您持续讲解洁净工程项目施工流程,介绍洁净工程各项要求及解读各类电子洁净车间标准。