洁净车间工程设计的基本要求docx

  洁净车间工程设计要点 一、洁净室的气流速度/换气次数 气流速度/换气次数一直是洁净室设计中受到关注的问题， 随着洁净室污染源的 控制效果增加及末级过滤器效率的提高等，FFU在应用中人们担心的噪音、损坏 维修等问题已在实践中得到解决，随着 FFU的一直在改进，对是否采用FFU回风 系统也是个热点：悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到 日程上来，受到关注。以下对这样一些问题的情况分别作归纳和分析。 二?气流速度 1洁净室内一定洁净度下气流速度的确定，随洁净室用途等详细情况而异， 它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响， 就工业洁净室而言，影响 洁净度及选择气流速度的因素主要是： 室内污染源：建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工 艺加工本身等都是尘粒释放源，根据详细情况而异，变化很大 ； 室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布 置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流；而非单向流要求充混合， 避免死角及温度分层； 自净时间(恢复时间)的控制要求：洁净室中事故释放或带入污染物或空气气流 的中断或正常操作时的间歇性对流气流或人及设备的移动等都会造成洁净度的 恶化，恢复到原来洁净度的自净时间决定于气流速度 ；对自净时间的控制要求取 决于此时间框架内(恶化的洁净度下)，对产品生产的质量及成品率影响的承受能 力； 末级过滤器的效率：在一定的室内发尘量下，可采用较高效率的过滤器以降 低气流速度；为节能应考虑采用较高效率的过滤器，并降低气流速度，或采用较 低效率的过滤器并采用较高的气流速度，以求流量与阻力的乘积最小 ； 经济性考虑：过大的气流速度造成投资及运行的成本的增加，合适的气流速度 为以上诸因素合理的综合，过大往往不必要，亦不一定有效果 ； 对洁净度要求低的洁净室，有时换气次数决定于室内排热的要求。 2、近年来不少人通过实验认为这些推荐或参考值过于保守，其论点可归纳为: ⑴洁净室内气流的横向扩散只在甚低的流速下才有机会，单向流在合理的气流 组织下，流速0.05?0.1m/s就足够带走污染物，在此流速下亚微米粒子的扩散性 能远低于对流性能；而大于0.36m/s的气流速度反而易千百万涡流，引起污染物的 再卷入。因此，洁净室的理想自净时间Tr二体积/流率，到一定值后由于污染物的 再卷入，再增大气流速度，实际的 Tr并不再有明显的减少。 (2)末级过滤器的效率对洁净度的影响是值得起注意的。有的气流速度 /换气次数 推荐或参考值对末级过滤器效率提高的因素往往没作考虑。 当前HEPA/ULPA的 效率从99.67%、99.99%、99.999%、99.9995%直至8个9以上都可选择。其效率 对气流速度的影响除以上已提及外，以下方面亦值得引起注意，在非单向流情况 下，按衡释原理的洁净室内含尘浓度稳定公式能得出： 室内发尘量较高时，末级过滤器效率的变化对洁净度影响甚微，因此在这 种情况下，过高的过滤效率是无必要的。 室内发生尘量较低的情况下，采用低的气流速度下，末级过滤器效率的变 速器变化，对洁净度的影响增大。 三、FFU系统的应用 3.1当前FFU的情况 FFU在常规使用的寿命及维护上已经实践证明无可担心。当前其改进主要是： 采取均流及减少噪音的措施，噪音可在 50db以内； 电动机采用DC/EC(电子整流电机)，以耗较原交流电机节约近 50%，因为 小风机所用小容量(功率V1/2HP)的交流电机，一般皆为电容分相式或隐极式，其 效率仅40%左右，而DC/EC电机的效率可达75?80%;在调速控制上可每台单独 的以过滤器降压来控制以节约能耗， 但目前投资回收期尚长而未广泛采用， 一 般常用分组群控或全部群控。 但 FF瓣出口静压不能过大，一般都会采用出口风速成 0.38m/s,此时其静压一 般在250Pa以内。 3.2FFU回风系统与其他方式相比的优点 3.2.1 一般评价 优点： 灵活性大，便于改造； 占用建筑物空间较少； 洁净室内空气压力大于回风静压室，排除静压室对洁净室污染的可能性。 缺点： 要求回风道全部阻力(包括多孔地板、格栅及风道)、干表冷器阻力及末级 过滤器的阻力(在初阻力时)，总共应控制在165Pa左右，以满足运行时最大阻力 在250Pa以内。因此干表冷器的传热面积要较大， 回风道尺寸亦要较大，多孔地 板及格栅等的阻力要小，一般作法是：控制干表冷器阻力在 50Pa左右，回风道 阻力在15Pa以内，否则就需要再增设加压风机系统，这就是降低了 FFU系统的 综合优点。 采用DC/EC电机后，单位风量的能耗可能比当前一般大型离心式风机的集 中系统为低，但已有研究指出，比采用改进后的大型轴流风机的回风系统的能耗 还是要高。因此就需要注意大型轴流风机的效率提高及其系统的阻力降低的因素。 —般FFU系统由于单位风量的能耗较大，因此洁净室的冷负荷亦相应增 加。 3.2.2详细情况下的评价 FFU用于老建筑物改造成洁净室时，其综合经济性一般往往可取。 洁净度要求严的洁净室，末级过滤器满布率100%时，对大的系统采用FFU, 当前还是不经济的；对小系统有意义作具体比较。 对洁净度要求不甚严的洁净室，末级过滤器满布率w 40%时对大系统综合经 济性往往相差不多，但对IC工厂而言FFU系统的灵活性是重要的，因此当前IC 工厂对过滤器满布率w 40%时，采用FFU系统已经普遍。 当然，我们也不否认一见钟情，就不能天长地久，但不是所有的人，都有这么好的福气，遇到愿意疼你爱你，陪你在俗世烟火里细水长流的人。 当然，我们也不否认一见钟情，就不能天长地久，但不是所有的人，都有这么好的福气，遇到愿意疼你爱你，陪你在俗世烟火里细水长流的人。 浪漫的感情，是相辅相衬的，需要的是相互的平衡，只有一个人默默付出，那么必定会失败。 浪漫的感情，是相辅相衬的，需要的是相互的平衡，只有一个人默默付出，那么必定会失败。 让你心动的，不一定可以陪你一生到老，只有愿意陪你在柴米油盐酱醋茶里，过平淡生活的人，才是你最终的选择。 我们很多人，心里都有一颗浪漫的种子，只是有的种子不断发芽，抽枝，最后长成了一棵参天大树。密匝的情感叶子，遮挡住了现实的视线，沉迷在浪漫的追求之中，不得自拔。 都说婚姻，是一座围城，它围住了你的某一些欲望，尤其对浪漫的欲望。假如没有婚姻这座围城，那么关于性，人和低级动物，就没有了区别。那么你的人生，可真谓是乱七八糟。 别一直去询问对方爱不爱你，嘴巴上的甜言蜜语，解决不了现实的残忍。 时间，是最好测量感情的仪器。只有相互懂得和理解，感情才会不被时间扼杀，谁都渴望心底深处的浪漫。但是浪漫，只能做为一种生活情趣，而不是生活的全部。 看过这样一个故事，一个女孩和一个男人浪漫的相爱了，于是他们一起步入了婚姻的殿堂。 婚后的感情，开始也是和婚前一样甜蜜浪漫，幸福。她在他的眼里，苗条、美丽、活泼可爱，让他如痴如醉；他在她的眼里，正直、淳朴、深情是她的爱之所至。只是浪漫也会跟着时间 的迁移逐渐消减。 她变得迷恋家，迷恋美好的生活，而他却开始为了工作，疏忽她。她犯娇发嗔，他开始不断解释，她不断的原谅，吵闹之后他又开始我行我素。他们的浪漫爱情花，是凋落了吗？ 应该不是，而是真实的生活，告诉他浪漫不能当饭吃，柴米油盐的日子，也必须工作。所以说，婚姻，实际上的意思就是一种责任。虽然说谈金钱，是庸俗的，可是没有金钱，拿什么来浪漫？ 尽管爱你，可是也必须工作。有一位西方作家说： 纯洁真挚的爱情，是最伟大的，最宝贵的财富。 ”无论是妻子还是老公，不光需要浪漫的爱情和温存，更加需要谅解、寄托和信念。也 只有如此，你的生活才会过的满足而丰满。 漫漫人生路，需要在简单中领悟幸福和浪漫的深切道理。在困境之中相互帮扶，在有足够支撑你浪漫的时候，日子，既要蕴含高雅的诗情画意，也要接受俗世的人间烟火味。 恋爱和婚姻，还是有着本质的差别。恋爱的时候，是两个人的事情，不在乎父母朋友是否反对，只要觉得快乐浪漫就好。 很多时候恋爱也会让人忘乎所以，法国著名的数学家帕斯卡对爱情，有这样一个描述：伟大的灵魂一旦开始恋爱，就超乎寻常的热烈。

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